[17p-C101-1~6] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[17p-C101-4] アモルファスGeの結晶化に及ぼす水素の効果

〇(M1)半谷 祐樹¹、奥川 将行¹、仲村 龍介¹、沼倉 宏¹、大畠 悟郎¹、溝口 幸司¹、石丸 学²、保田 英洋³ (1.阪府大工、2.九工大工、3.阪大工)

キーワード：水素化アモルファスゲルマニウム、結晶化、薄膜

我々は，スパッタリングで作製したa-Geの構造が室温時効によってランダムな構造に変化し，それに応じて結晶化組織が変化することを発見した．実用材料では水素を含む薄膜も使用されるため，水素が結晶化挙動に及ぼす効果を調べることが重要である．本研究ではアモルファス構造とミクロ組織形成へ及ぼす水素の効果を解明するために，透過型電子顕微鏡を用いて，a-Ge:H薄膜の電子照射誘起結晶化と加熱結晶化を調べた．