[17p-C103-1~13] 6.4 薄膜新材料

[17p-C103-5] 超臨界流体堆積法による酸化ハフニウム薄膜の低温合成と段差被覆成膜

〇川島 広明¹、内田 寛¹ (1.上智大)

キーワード：薄膜、超臨界流体、酸化ハフニウム