[17p-C204-1~20] 8.1 プラズマ生成・診断

[17p-C204-6] 高出力パルスマグネトロンスパッタにより生成するプラズマ発光の放電モード特性および放電電力特性

〇(B)西田 寛¹、松田 広一¹、正路 智紀¹、市川 美治¹、大城 匠¹、實方 真臣¹、山本 宏晃²、戸名 正英²、塚本 恵三²、中野 元善³、大下 慶次郎³、美齊津 文典³ (1.東京工芸大工、2.（株）アヤボ、3.東北大院理)

キーワード：マグネトロンスパッタリング、プラズマ計測、光学的計測

通常のマグネトロンスパッタ（dcMS）および高出力マグネトロンスパッタ（HPPMS）の生成プラズマの発光スペクトルを、生産用設備として稼働しているHPPMS装置を用いて0.3から0.7 kW（0.1kW 間隔）の範囲で測定した。それぞれで得られた発光スペクトル中で、特定の波長を境に変化するピーク強度や放電電力の特性について発光種の電子構造との関係性を含めて報告する。