[17p-C204-1~20] 8.1 プラズマ生成・診断

△ [17p-C204-8] マグネトロンプラズマにおける高エネルギー負イオン軌道の数値解析

〇(M1)宇田川 洸¹、三矢 晶洋¹、鈴木 陽香¹、豊田 浩孝¹ (1.名大工)

キーワード：マグネトロンスパッタリング、高エネルギー粒子、酸素負イオン