[17p-E201-1~7] 化合物電子デバイス・プロセス技術の進展　～GaAsの繁栄から学ぶ・温故知新～

[17p-E201-6] 高周波素子用GaN MOCVDエピの進展

〇田中 丈士¹ (1.㈱サイオクス)

キーワード：GaN、HEMT、MOCVD