[17p-E202-1~19] 15.4 III-V族窒化物結晶

△ [17p-E202-15] 高分解能質量分析によるⅢ族窒化物半導体気相成長のためのアンモニア分解及び反応の解析

〇叶 正¹、新田 州吾²、永松 謙太郎²、本田 善央²、天野 浩^2,3,4 (1.名大院工、2.IMaSS、3.ARC、4.VBL)

キーワード：アンモニア、気相成長、高分解能質量分析

気相反応分析には質量分析技術が広く使用されているが、アンモニアボンベに残留する水分子のため、アンモニアの水素化合物であるNH4が水分子などと質量が近く、通常の分解能の質量分析装置では評価できない。本報告では高分解能マルチターン飛行時間型質量分析装置を用いて、気相中アンモニアの分解及び反応を検討した。