17:15 〜 17:30 △ [17p-E202-15] 高分解能質量分析によるⅢ族窒化物半導体気相成長のためのアンモニア分解及び反応の解析 〇叶 正1、新田 州吾2、永松 謙太郎2、本田 善央2、天野 浩2,3,4 (1.名大院工、2.IMaSS、3.ARC、4.VBL)