[17p-E202-1~19] 15.4 III-V族窒化物結晶

[17p-E202-17] サファイア基板に気相成長させた六方晶BN薄膜の発光スペクトル

〇秩父 重英¹、梅原 直己²、小島 一信¹、原 和彦^2,3 (1.東北大多元研、2.静大創造科学院、3.静大電子研)

キーワード：窒化ボロン、カソードルミネッセンス

グラファイト状2次元ハニカム構造が積層された結晶構造をとる六方晶(h-)BNの禁制帯幅は約6 eVであり、間接遷移型半導体でありながら室温でバンド端発光を呈すため、AlN同様に深紫外線波長領域の発光素子用材料として期待できる。静大の梅原・原らは、BCl₃とNH₃を用いた減圧化学気相堆積法によりサファイアc面上に、エピタキシャル関係を保ったh-BN薄膜を成長させ、成長温度・圧力と薄膜の構造的・光学的な品質の関係を報告してきた。本講演では、それら薄膜の発光特性について報告する。