[17p-F206-1~17] 13.3 絶縁膜技術

△ [17p-F206-13] アンドープZrO₂薄膜における強誘電性の実現

〇柴山 茂久¹、西村 知紀¹、右田 真司²、鳥海 明¹ (1.東大院工、2.産総研)

キーワード：ZrO2、強誘電体、反強誘電体