[17p-P1-1~12] 1.1 応用物理一般・学際領域

[17p-P1-3] ta-C薄膜における深紫外ラマンスペクトル変化の照射温度依存性

〇神津 知己¹、堀 諒子¹、山口 誠¹、川口 雅弘²、吉村 雅満³ (1.秋田大学、2.都立産技研究センター、3.豊田工大)

キーワード：ダイヤモンドライクカーボン、深紫外ラマン