[17p-P12-1~27] 13.7 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

[17p-P12-27] Al₂O₃/n-GaNキャパシタの酸化ガリウム界面層が電気特性へ及ぼす影響

〇(M1)弓削 雅津也^1,2、生田目 俊秀²、色川 芳宏²、大井 暁彦²、池田 直樹²、Sang Liwen²、知京 豊裕²、小出 康夫²、大石 知司¹ (1.芝浦工大、2.物材機構)

キーワード：GaN、Al2O3、酸化ガリウム界面層