[17p-P7-1~21] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

△ [17p-P7-12] 金属-誘電体-金属サブ波長格子によるMEMSプラズモニックカラーフィルタの波長選択性の向上

〇平田 敦也¹、満留 将人¹、澤田 和明¹、高橋 一浩¹ (1.豊橋技科大)

キーワード：MEMS