13:30 〜 15:30
△ [17p-P7-16] ガラス基板上の自己整合ダブルゲートCu-MIC Poly-Ge1-xSnx TFT
キーワード：薄膜トランジスタ、ゲルマニウムスズ、金属誘起固相成長
講演情報
一般セッション(ポスター講演)
13 半導体 » 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術
[17p-P7-1~21] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術
2018年3月17日(土) 13:30 〜 15:30 P7 (ベルサール高田馬場)