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[17p-P7-21] CNM embedded in Co/Al2O3/SiO2 substrate for LSI submicron hole using supercritical ethanol
Keywords:supercritical ethanol, carbon nano material
近年のLSI集積化は、配線幅の微細化に伴い、高電流密度耐性を有するカーボンナノ材料(CNM)配線が期待されている。超臨界流体堆積法は超臨界流体の低粘度・高拡散性から、微細孔へ高濃度の炭素供給が可能であり、材料供給に期待できる。今回我々は、微細孔へのボトムカバレッジ率を実験より求め、超臨界エタノールを用いてSi基板上にある微細孔への埋め込みを試みた。CNMの埋め込み時の圧力・基板温度の最適条件を報告する。