[17p-P7-1~21] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

△ [17p-P7-6] 長期振動試験によるAu-Cu合金微小カンチレバーの構造安定性

〇新田 京太朗¹、橘 航一朗¹、Haochun Tang¹、Chun-Yi Chen¹、Tso-Fu Mark Chang¹、山根 大輔¹、小西 敏文^1,2、町田 克之¹、益 一哉¹、曽根 正人¹ (1.東工大、2.NTT-AT)

キーワード：微小電気機械システム、金、構造安定性