2018年第65回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

13 半導体 » 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[17p-P7-1~21] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

2018年3月17日(土) 13:30 〜 15:30 P7 (ベルサール高田馬場)

13:30 〜 15:30

[17p-P7-8] 電解スズめっきの機械的特性におけるSnO2の影響

田岡 光月1、田邊 万奈1、Chen Chun-Yi1、Chang Tso-Fu Mark1、曽根 正人1 (1.東工大)

キーワード:電解スズめっき、ビッカース硬さ、酸化スズ