[17p-P7-1~21] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

△ [17p-P7-8] 電解スズめっきの機械的特性におけるSnO₂の影響

〇田岡 光月¹、田邊 万奈¹、Chen Chun-Yi¹、Chang Tso-Fu Mark¹、曽根 正人¹ (1.東工大)

キーワード：電解スズめっき、ビッカース硬さ、酸化スズ