11:30 AM - 11:45 AM
[18a-B203-10] High Power and High Beam Quality Operations of Long VCSEL Amplifier
Keywords:VCSEL, Semiconductor optical amplifier
高出力半導体レーザの直接利用は次世代レーザ加工技術として大きな注目を集めている.我々は高出力化と高ビーム品質化を同時に達成するために,面発光レーザ(VCSEL)と半導体光増幅器(SOA)の横方向集積構造を提案し実証した.また単体のVCSEL増幅器では250mW以上の出力を達成した.光出力はデバイス長を長くすることでさらに増加する.今回は増幅自然放出光(ASE)の抑圧構造を用いて長尺VCSEL増幅器を作製し,高出力化を実証したので報告する.