[18a-B203-1~11] 3.13 Semiconductor optical devices

[18a-B203-10] High Power and High Beam Quality Operations of Long VCSEL Amplifier

〇Zeuku Ho¹, Keisuke Ho¹, Xiaodong Gu¹, Masanori Nakahama¹, Akihiro Matsutani², Fumio Koyama¹ (1.Tokyo Tech. FIRST, 2.Tokyo Tech. Dept. Tech.)

Keywords:VCSEL, Semiconductor optical amplifier

高出力半導体レーザの直接利用は次世代レーザ加工技術として大きな注目を集めている．我々は高出力化と高ビーム品質化を同時に達成するために，面発光レーザ(VCSEL)と半導体光増幅器(SOA)の横方向集積構造を提案し実証した．また単体のVCSEL増幅器では250mW以上の出力を達成した．光出力はデバイス長を長くすることでさらに増加する．今回は増幅自然放出光(ASE)の抑圧構造を用いて長尺VCSEL増幅器を作製し，高出力化を実証したので報告する．