[18a-B203-1~11] 3.13 半導体光デバイス

[18a-B203-11] 折り返し構造を有するVCSEL増幅器によるドットパターン形成

〇(B)森長 瑞¹、顧 暁冬¹、志村 京亮¹、中濵 正統¹、小山 二三夫¹ (1.東工大)

キーワード：面発光レーザ、面発光レーザ増幅器

3次元の光センシングは，自動運転のLiDAR，ロボットの測距センサ，携帯端末の顔認証システム，セキュリティカメラ，人工現実感応用の3Dカメラなど，広範な応用が期待されている．我々は，DBRスローライト導波路構造のVCSEL増幅器を用いた非機械式ビーム掃引デバイスを提案し，3Dセンサ用光源の開発を進めてきた. 本研究では，そのVCSEL増幅器を折り返した構造のデバイスを作製し高精細なドットパターン生成に成功した.