[18a-B203-1~11] 3.13 半導体光デバイス

[18a-B203-2] 発熱分布解析と薄膜熱伝導減少効果を取入れたVCSEL熱抵抗解析

三村 正樹¹、〇宮本 智之¹ (1.東工大未来研)

キーワード：半導体レーザ、熱抵抗、光無線給電

光無線給電には，2次元アレイ化可能な面発光レーザ(VCSEL)の高効率・高出力密度化が重要である．これにはデバイス熱抵抗の高精度設計が必要である．デバイス熱抵抗はデバイス形状と材料熱伝導率から解析できるが，数10 nm厚程度以下の薄膜の熱伝導率は，フォノン不連続性により，バルク値の1/2-1/3程度に低下する．
今回，電流分布解析による発熱領域を取入れたVCSELの熱抵抗の数値解析を行ったので報告する．