[18a-C204-8~8] 8.7 プラズマエレクトロニクス分科内招待講演

[18a-C204-8] [8. プラズマエレクトロニクス　分科内招待講演] IoT時代のプラズマ微細加工技術

〇伊澤 勝¹、篠田 和典²、三好 信哉²、小林 浩之²、石川 健治³、堀 勝³ (1.日立ハイテク、2.日立研開、3.名大工)

キーワード：プラズマエッチング、半導体