[18a-C302-1~12] 13.7 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

[18a-C302-3] NiN電極を有するマイクロ波整流用GaNショットキーバリアダイオード

〇星 泰暉¹、李 小波¹、敖 金平¹ (1.徳島大院工)

キーワード：窒化ニッケル、ショットキーバリアダイオード