[18a-E201-1~11] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[18a-E201-3] 酸化チタンナノチューブ型高感度ガスセンサの開発

〇阿部 宏之¹、馬 騰²、但木 大介³、平野 愛弓^2,3、木村 康男⁴、庭野 道夫⁵ (1.宮城県産技セ、2.東北大材料科学高等研、3.東北大通研、4.東京工科大工、5.東北福祉大)

キーワード：ガスセンサ、陽極酸化、酸化チタンナノチューブ

本研究では，ガスセンサの感度向上と応答時間，回復時間短縮を実現するため，センシング部である酸化チタンナノチューブ薄膜を検出対象ガスが透過する構造にしたガスセンサを作製する基盤技術を確立し，ガスが透過しない構造である従来のガスセンサよりも応答時間を短縮できることを確認した。