[18a-F202-1~10] 1.3 新技術・複合新領域

[18a-F202-8] 導電性酸化物を用いたオールセラミックスガスセンサの作製

〇鶴田 彰宏¹、伊藤 敏雄¹、三上 祐史¹、杵鞭 義明¹、寺崎 一郎^1,2、村山 宣光¹、申 ウソク¹ (1.産総研、2.名大理)

キーワード：導電性酸化物、ガスセンサ

高温動作型電子デバイスにおける白金代替導電性部材として我々が注目している導電性酸化物CaCu₃Ru₄O₁₂のデバイス適用性の検証を目的とし、CaCu₃Ru₄O₁₂を電極及びヒーター部材として使用した半導体式ガスセンサを試作したので、そのセンシング性能やヒーター発熱特性に関して発表する。