[18a-F202-1~10] 1.3 Novel technologies and interdisciplinary engineering

△ [18a-F202-9] Development of suspended-polymer membrane device for applying to SLM

〇Yuki Hanabusa¹, Takashi Ikuta¹, Kenzo Maehashi¹ (1.TUAT)

Keywords:spatial light modulator, polymer, micro electro mechanical systems

空間光変調器応用に向けた宙吊り高分子膜（PDMS）デバイスについて報告する。デバイスを動作させてその応答を測定し、微小変位の制御に対応する応答を検出でき、また、従来のPDMS動作では見られなかった２段階の応答変化が得られた。以上から宙吊りPDMSデバイスの作製およびその電圧駆動動作を実証することができた。