[18a-F206-1~9] 6.2 カーボン系薄膜

[18a-F206-4] ダイヤモンド基板のCMP処理によるエピタキシャル膜の高品質化

〇藤居 大毅¹、枡谷 聡士²、大山 幸希¹、武田 秀俊¹、木村 豊¹、金 聖祐¹、嘉数 誠² (1.アダマンド並木精密宝石株式会社、2.佐賀大院工)

キーワード：ダイヤモンド、化学機械研磨、エピタキシャル成長