[18a-F206-1~9] 6.2 カーボン系薄膜

[18a-F206-7] レーザー誘起ドーピングの単結晶ダイヤモンドへの適用

〇吉武 剛¹、アブバクル イスラム^1,2、ゼクリア アブデルラーマン^1,2、池上 浩³ (1.九大総理工、2.アスワン大、3.九大シス情)

キーワード：ダイヤモンド、ドーピング、レーザー

液中レーザー誘起ドーピングを単結晶ダイヤモンドに適用した．具体的には，リン酸溶液中の単結晶ダイヤモンドに波長193 nmのパルスレーザー光を照射し，照射点の電気抵抗および深さ方向のリンの濃度をSIMSで調べた．レーザー照射により電気抵抗は劇的に上昇した．リンの拡散が表面から50 nmまでの深さまで観測された．