[18a-F210-1~13] 6.6 プローブ顕微鏡

△ [18a-F210-4] ケルビンプローブ力顕微鏡によるSiファストリカバリーダイオードのn^-層観測

〇(D)潤間 威史¹、佐藤 宣夫²、山本 秀和²、岩田 太¹ (1.静岡大院創造科技、2.千葉工大)

キーワード：オペランド測定、パワーデバイス、ケルビンプローブ力顕微鏡