[18a-G202-1~12] 12.5 有機太陽電池

[18a-G202-1] 圧力勾配型プラズマガンを使用した活性化反応性蒸着により得られるITOを用いたペロブスカイト型太陽電池の作製

〇田中 剛¹、橋本 典晃²、古屋 英二²、中川 雅美¹、筧 芳治¹、森 隆志¹、山田 義春¹、近藤 裕祐¹ (1.大阪技術研、2.中外炉工業)

キーワード：ペロブスカイト型太陽電池、ITO、圧力勾配型プラズマガンを使用した活性化反応性蒸着

ペロブスカイト型太陽電池（PSC）の下部電極に、圧力勾配型プラズマガンを用いた活性化反応性蒸着により得られるITO（5.1 nm/sec, 215 nm）、および、真空蒸着により得られるAg（0.2 nm/sec, 100 nm）を用いた。両PSCの変換効率（ITO: 14.2 %, Ag: 14.4 %）に差はなく、ITOの成膜時において、他の構成層にダメージを与えないものと推定される。