[18a-P1-1~46] 1.2 Education

[18a-P1-26] Practice of the Semiconductor Education using Blue LED Fabrication -Methods-

〇Syugo Soga¹, Shiogai Kazuki¹, Naoki Wada¹, Akihiro Wakahara², Hiroto Sekiguchi², Shiro Sakai³, Yuta Shigematsu¹, Kazuma Kondo¹ (1.NIT, Niihama College, 2.Toyohashi Univ. of Tech., 3.Tokushima Univ.)

Keywords:blue LED, students experiments

若年層からのものづくり教育が可能な高専教育の高度化を目指し，青色LEDの製作を学生実験へ導入した。LED製作では1回の実験でフォトリソグラフィーを実施する班とダイボンディング/ワイヤボンディングを実施する班に分けることで、各学生が自ら作業する時間を確保した。特性測定では、まず全員にLEDの原理や発光部の温度測定法としてのΔV_F法についての講義を行った後、2つの班に分かれて、熱抵抗の異なる3種類のLEDパッケージを用いてΔV_F測定と電流－光出力・ピーク波長測定を実施した。