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[18a-P1-26] 青色LED製作を利用した半導体教育の実践 -実験方法-
キーワード:青色LED、学生実験
若年層からのものづくり教育が可能な高専教育の高度化を目指し,青色LEDの製作を学生実験へ導入した。LED製作では1回の実験でフォトリソグラフィーを実施する班とダイボンディング/ワイヤボンディングを実施する班に分けることで、各学生が自ら作業する時間を確保した。特性測定では、まず全員にLEDの原理や発光部の温度測定法としてのΔVF法についての講義を行った後、2つの班に分かれて、熱抵抗の異なる3種類のLEDパッケージを用いてΔVF測定と電流-光出力・ピーク波長測定を実施した。