2018年第65回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

7 ビーム応用 » 7 ビーム応用(ポスター)

[18a-P3-1~14] 7 ビーム応用(ポスター)

2018年3月18日(日) 09:30 〜 11:30 P3 (ベルサール高田馬場)

09:30 〜 11:30

[18a-P3-14] 感光性親撥材料を用いた新規なパターン形成方法

石川 暁1、和田 光弘1、河口 和雄1、浜口 仁1、栗山 敬祐1 (1.JSR)

キーワード:感光性親撥材料、新規パターニング法、高濃度インク

我々は温和な露光条件で塗膜表面の撥液性を親液性に変換可能な感光性親撥材料(PISC; Photo-induced Surface Control Material)を開発し、従来方法とは全く異なる、新規なパターン形成方法を提案する。本手法を適用することで、高濃度インクを高解像度、高アスペクト比で簡易にパターニングすることができる。