[18p-A202-1~15] デバイスシミュレーション技術の活用と将来展望

[18p-A202-3] デバイスシミュレーションによる電気伝導機構の理解支援 ～授業等での活用事例のご紹介～

〇鎌倉 良成¹ (1.阪大院工)

キーワード：デバイスシミュレーション、教育

デバイスシミュレータは、半導体素子の研究開発のみならず、電気伝導やデバイス動作の微視的機構に対する理解を深める上でも大変有効なツールといえる。本講演では、モンテカルロ法を用いてシリコン内部の電子挙動を可視化した動画や、流体系シミュレータにより電界効果トランジスタ内部の物理量を観察した結果などを授業や実習等で活用し受講生の理解支援を試みた事例について紹介する。