[18p-A202-1~15] デバイスシミュレーション技術の活用と将来展望

[18p-A202-4] 柔軟なデバイス・シミュレーション・モデルの開発に向けて

〇松澤 一也¹、阿部 真利¹、小田 嘉則¹、秋山 豊¹、田中 貴久^1,2、内田 建^1,2 (1.慶應大TRDEC、2.慶應大電子工)

キーワード：半導体、シミュレーション、バイオセンサー

新材料、新構造を用いた半導体デバイスの性能を予測するには、新しい物理モデルを容易に組み込む仕組みを持つデバイス・シミュレータが望まれる。我々は新モデルを組み込むためのAPIを3次元TCADシステムに実装した。これにより、ユーザはTCAD本体を改造せずに、独自のモデルを組み込むことが可能となった。新モデル同士は、独立に実装できるので、共同研究の基盤としても活用しやすい。実例として、SiC-JBSのスナップバック特性、バイオセンサの感度解析の結果を示す。