[18p-A202-1~15] デバイスシミュレーション技術の活用と将来展望

[18p-A202-9] SOIピクセル検出器高感度化に向けたTCADシュミュレーション

〇(D)浜崎 竜太郎¹、新井 康夫² (1.総研大、2.高エネ研)

キーワード：TCAD

微弱信号検出を目的として位置、エネルギー、時間情報が同時に測定できる線形増倍型のAvalanche PhotoDiode (APD)のピクセル上にSOI技術を用いて集積回路を実装した高精細高感度の量子イメージング検出器の開発を行っている。本講演では半導体デバイスシミュレータTCADを用いて、軟X線直接変換型のReach-Throuht APDの基本的な電界構造について報告する。