[18p-B301-1~10] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

[18p-B301-7] TXRF感度向上に及ぼすVPT乾燥痕の影響(2)

〇大野 力一¹ (1.ソニーセミコンダクタソリューションズ)

キーワード：金属不純物分析、全反射蛍光X線

前回、フッ酸によるVapor phase treatment (VPT)により、TXRFで金属汚染の感度向上に乾燥痕の総体積が影響していることを報告した。Cuの感度が上がらないのは、Siに電気化学的に吸着して乾燥痕に取り込まれていないと考察した。今回、HCl添加Vaporにより、Cuも感度向上が確認でき、メカニズムを検証した。