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△ [18p-C102-12] 標準電極電位差を利用した3値記憶素子の作製
キーワード:多値メモリ、界面、Liイオン伝導体
これまで、我々は異種金属間標準電極電位差を利用したメモリデバイス(VolRAM)を報告した。これはLi/Li3PO4/Auの積層構造であり、Li3PO4/Au界面でのLi-Au合金、脱合金反応による電位差変化がメモリ動作に対応している。Au電極では、Liと合金相を形成してしまい、Liイオンの挙動を理解することは難しい。本研究では、Liと合金を形成しないNiを用いて、動作メカニズムの検討を目指した。その結果、3つの異なる電位状態を保持できることを見出したので報告する。