The 65h JSAP Spring Meeting, 2018

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Symposium (Oral)

Symposium » Fundamentals and applications of piezoelectric thin-film devices

[18p-C104-1~9] Fundamentals and applications of piezoelectric thin-film devices

Sun. Mar 18, 2018 1:00 PM - 5:00 PM C104 (52-104)

Isaku Kanno(Kobe Univ.), Takeshi Yoshimura(Osaka Pref. Univ.)

3:30 PM - 4:00 PM

[18p-C104-5] Piezoelectric thin film bulk acoustic resonators (FBAR)

〇Takahiko Yanagitani1,2,3 (1.Waseda Univ., 2.JST PRESTO, 3.ZAIKEN)

Keywords:BAW filter, FBAR, ScAlN

近年、BAWフィルタ(FBAR)は5G以降の4 GHzを超える次世代のフィルタとして有望視されている。本講演ではBAWフィルタ用の圧電薄膜に要求される性能や、材料の種類、成膜時の問題点、評価方法について議論する。