[18p-C303-1~8] 光波センシングにおける偏光イメージング技術

[18p-C303-5] 光スピンホール効果を利用したエリプソメータ とその応用

〇水谷 康弘¹、藤田 寛之¹、高谷 裕浩¹ (1.阪大院工)

キーワード：エリプソメトリ、スピンホール効果、表面粗さ計測

サブナノオーダーの計測制度を有する表面粗さ計測への応用を目指し，光のスピンホール効果を用いたエリプソメトリを表面粗さ計測へ適用することを考えている．SHELとは，光が試料表面上で反射する際に，光子の軌道角運動量とスピン角運動量の相互作用が生じ，光線が境界面で空間的に微小シフトする現象である．このシフト量を計測することでRa0.3nmの違いを検出したので報告する．