[18p-D102-1~23] 12.4 Organic light-emitting devices and organic transistors

[18p-D102-16] Logic circuit applications of pentacene thin-film transistors with controlled threshold voltages

〇Hajime Takahashi¹, Yuki Hanafusa¹, Yoshinari Kimura¹, Masatoshi Kitamura¹ (1.Kobe Univ.)

Keywords:organic transistor, organic semiconductor

ガラス基板上，RFスパッタリングによるSiO₂膜をゲート絶縁膜とするペンタセンTFTの閾値電圧を酸素プラズマ処理とUVオゾン処理により制御した．その応用としてエンハンスメント/ディプレッション(E/D)型インバータを構成し動作に成功した．