[18p-D103-1~23] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[18p-D103-14] 急冷凍結したシリコンウェーハ中の高温熱平衡原子空孔の低温超音波法による濃度測定

〇金田 寛¹、根本 祐一²、赤津 光洋³、三本 啓輔² (1.九工大院生命体工、2.新潟大院自然、3.新潟大理物)

キーワード：シリコン、原子空孔、急冷凍結