[18p-D103-1~23] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[18p-D103-23] シリコン結晶中の低濃度炭素の測定
(XV)1x10¹³cm^-3までの第二世代赤外吸収測定の国際ネットワーク

〇井上 直久^1,2、河村 裕一² (1.東京農工大学、2.大阪府立大学)

キーワード：FZシリコン結晶、炭素不純物濃度測定、赤外吸収

ポリシリコンの炭素濃度測定のために世界の先進ポリシリコンメーカが成長したFZ結晶を電子線照射して参照試料とブロックゲージを個別に共同で作製し、赤外分光装置の検定や測定法の改善を共同で行い、生産現場での1E+13cm-3までの測定を可能にした。参照試料やブロックゲージは1カ所で較正されているためメーカー間の互換性も確保されている。