18:45 〜 19:00 [18p-D103-21] シリコン結晶の高感度赤外吸収と赤外欠陥動力学(12)窒素ドープFZ結晶の熱処理によるライフタイム減少について 〇井上 直久2,1、河村 裕一2 (1.東京農工大学、2.大阪府立大学)
19:00 〜 19:15 [18p-D103-22] シリコン結晶中の低濃度炭素の測定(XIV)1x1013cm-3までの赤外用人工ブロックゲージの作製と共有 〇井上 直久1,2、河村 裕一2 (1.東京農工大学、2.大阪府立大学)
19:15 〜 19:30 [18p-D103-23] シリコン結晶中の低濃度炭素の測定(XV)1x1013cm-3までの第二世代赤外吸収測定の国際ネットワーク 〇井上 直久1,2、河村 裕一2 (1.東京農工大学、2.大阪府立大学)