[18p-D103-1~23] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[18p-D103-6] 超高温RTPウェーハにおける酸素析出物の形成挙動

〇須藤 治生¹、岡村 秀幸¹、前田 進¹、青木 竜彦¹、中村 浩三³、末岡 浩治² (1.グローバルウェーハズ・ジャパン(株) 技術部基盤技術グループ、2.岡山県立大学 情報工学部 情報通信工学科、3.岡山県立大学 地域共同研究機構)

キーワード：シリコン、急速昇降温熱処理、酸素析出