2018年第65回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.7 結晶評価,不純物・結晶欠陥

[18p-D103-1~23] 15.7 結晶評価,不純物・結晶欠陥

2018年3月18日(日) 13:15 〜 19:30 D103 (56-103)

沓掛 健太朗(名大)、大野 裕(東北大)、仮屋崎 弘昭(GWJ)、竹内 正太郎(阪大)

14:30 〜 14:45

[18p-D103-6] 超高温RTPウェーハにおける酸素析出物の形成挙動

須藤 治生1、岡村 秀幸1、前田 進1、青木 竜彦1、中村 浩三3、末岡 浩治2 (1.グローバルウェーハズ・ジャパン(株) 技術部基盤技術グループ、2.岡山県立大学 情報工学部 情報通信工学科、3.岡山県立大学 地域共同研究機構)

キーワード:シリコン、急速昇降温熱処理、酸素析出