[18p-E201-1~13] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[18p-E201-1] 基板冷却によるAlOx薄膜の膜質制御

〇瀬名波 匡¹、瀧 旭¹、磯部 辰徳¹、新井 真¹、清田 淳也¹ (1.アルバック)

キーワード：誘電体薄膜