[18p-F206-1~15] 6.2 カーボン系薄膜

[18p-F206-4] RF窒素プラズマ支援MBE成長によるダイヤモンド(111)基板上のAlN薄膜の質とバンドオフセット

〇河野 省三¹、蔭浦 泰資²、梶家 美貴²、加藤 かなみ²、Buendia Jorge J.²、河合 空²、川原田 洋^1,2 (1.早大ナノ・ライフ、2.早大理工)

キーワード：ダイヤモンド、AlN薄膜、RFプラズマ支援MBE