[18p-F306-1~17] 12.7 Biomedical Engineering and Biochips

[18p-F306-14] Examination of pH response and interfacial product of Ta₂O₅ thin film on Tungsten

〇Yusuke Yamauchi¹, Takeshi Hizawa¹, Tatsuya Iwata^1,2, Kensuke Murakami¹, Kazuhiro Takahashi^1,2, Kazuaki Sawada^1,2 (1.Toyohashi Univ Tech., 2.EIIRIS)

Keywords:pH image sensor, Ta2O5

pHイメージセンサのバイオ応用のため、画素の微細化が求められている。我々は、拡張ゲート構造の提案による標準CMOSプロセスでの実現を目指している。拡張ゲート構造ではゲートSiO₂と比較して、表面の平滑性、Ta₂O₅/W界面における遷移層の形成などが懸念されるW電極上へ形成が必要である。本報告は、W電極上へTa₂O₅を形成し、EIS構造容量測定法によるpH応答及びXPSによる界面近傍における元素分布について評価を行ったので報告する。