[18p-F306-1~17] 12.7 Biomedical Engineering and Biochips

[18p-F306-17] Response to Dissolved Oxygen of EIS Structure with ZnO Sensitive Layer

〇Yuya Sugihara¹, Kohei Ono¹, Takeshi Ishiyama¹, Takeshi Hizawa¹, Tatsuya Iwata^1,2, Kensuke Murakami¹, Kazuhiro Takahashi^1,2, Kazuaki Sawada^1,2 (1.Toyohashi Tech., 2.EIIRIS)

Keywords:pH image sensor, ZnO

我々のグループでは動的なイオンの動きを可視化できるイオンイメージセンサの開発を進めている。pHや溶存酸素などの値は水質調査の指標とされる。SnO₂やZnO薄膜は液体中の酸素分子と吸着すればイオンとガスの反応を同時に観察するマルチモーダルイメージングを可能にする。本研究では、ZnO薄膜の溶存酸素応答について検討したので報告する。