[18p-F306-1~17] 12.7 Biomedical Engineering and Biochips

△ [18p-F306-5] Two-dimensional imaging by electron beam excited ion sensing system

〇(M1)Kiyohisa Nii¹, Wataru Inami^1,2, Yoshimasa Kawata^1,2 (1.Shizuoka Univ., 2.Research Institute of Electronics.)

Keywords:ion imaging, biosensor

我々は電子線照射を用いた，高空間分解能イオン濃度センサーを開発してきた．本システムの特徴は細胞の局所的なイオン分布や，イオンの授受を高い空間分解能で観察できることである．高い空間分解能でイオン濃度計測ができることは，生体機能の解明のために重要である．今回は，半導体基板のセンシング表面に部分的にフォトレジストを塗り，表面電位を変化させることで空間分解能を評価した結果について報告する．