[18p-G201-1~16] SP6 集積化MEMSの発展と展望（集積化MEMS技術研究会発足１０周年記念シンポジウム）

[18p-G201-13] LSI 回路設計の立場から見た集積化MEMS 技術への期待

〇森村 浩季¹ (1.日本電信電話株式会社 NTTデバイスイノベーションセンタ)

キーワード：MEMS、IoT、センサ